JASCO佳斯科 FT/1R-6800 傅里叶红外光谱仪
日本分光株式会社的前身是东京教育大学光学研究所，该研究所于 1954 年开发了日本第一台红外分光光度计 DS-101，自 1958 年成立以来，一直继承前辈红外分光光度计的精神，并完成了 FT/IR-4X，将其作为之作。由于追求小型化，尺寸仅为 386（W）x 479（D）mm，功耗比传统型号低 30%。性能、功能和可扩展性达到研究级水平，

JASCO佳斯科 FT/1R-6800 傅里叶红外光谱仪

JASCO佳斯科 FT/1R-6800 傅里叶红外光谱仪

 傅里叶变换红外光谱仪

晶圆反射率测量系统

晶圆中含有的杂质氧、碳、氮等对晶圆的性能有显著影响。傅里叶变换红外分光光度计晶圆反射率测量系统，通过在FT/IR样品室内安装专用平台，可以测量最大12英寸晶圆的透射和反射率。此外，还可以使用专用软件进行映射测量。

特征

 软件

 测量示例

 规格

晶圆反射率测量系统的特点

非破坏性、非接触式评估

使用红外线可以对样品进行无损、非接触式评估。

高精度和可重复性

通过充分利用 JASCO 的 FT/IR 功能，可以实现高精度和高重复性的测量。

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符合各种标准

它符合JEITA和JEIDA等各种标准。

硅中的碳浓度：JEITA-EM-3503

硅中的氧浓度：JEIDA-61-2000

硅中的氮浓度：JEITA-EM-3512

非晶硅中的氢浓度

氮化硅薄膜中的氢浓度

特征软件测量示例规格

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FTIR 基础知识

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SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

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