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更新时间：2025-04-17 
浏览次数：72晶圆电镀设备
A-52硅片电镀实验设备套装
这是针对2至12英寸硅片的电镀设备组。通过使用特殊夹具，我们可以对半导体和MEMS进行精确电镀。
特征
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该水箱的设计目的是不断过滤水，同时从底部产生温和的对流，使水溢出。
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有单面溢流型和可高速混合的双面溢流型两种类型。采用桨式搅拌进行直接混合。
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它也可以用作生产设施。
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我们已获得多项国内和国际 ，还有多项 正在申请中。
基材
它不仅可以用于硅晶片，还可以用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。
关于定制产品
使用标准设备作为基础，我们可以定制适合您的样品的夹具或双面电镀夹具。我们
还拥有制造阳极氧化和耐酸铝夹具
等设备的经验。 夹具有全封闭型、非封闭型、卧式等多种类型，欢迎随时通过 咨询表与我们联系。
套装内容
A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置组WJ型（配YPP电源）
| 零件编号 | 产品名称 | 数量 |
| A-52-ST□-P01A | 硅片槽（亚克力双底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片阴极盒（标准型）(*1) | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片阳极支架（阳极背面刷过）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 桨式搅拌器 | 1 |
| B-90-A20-APFA05 / | Minimini过滤器20APFA型（适用于2至6英寸） 迷你过滤器40APFWJ型（8英寸适用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 气泵M202（AC100V）（2-4英寸） | 1 |
| A-52-P18 | 空气过滤器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圆水箱加热器WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸入式加热器WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 温度传感器、加热器紧固件 | 1 |
(*1) 请选择方向平面型或缺口型。还提供密封型/吸入密封型。
（*2）不溶性阳极也可采用隔膜型。
(*3) 产品编号中的方块表示英寸数。
(*) 此套件需与 YPP 电源一起使用。电源、温度调节器和阳极板单独出售。请与 A-57-15031WA、A-57-15100WA 或 A-57-15101D 分别 电源。 PC 单独出售。
强力搅拌槽（双面溢流型）可实现约两倍的搅拌速度
通过将溢流口从一侧增加到两侧，桨叶搅拌速度提高到最高 130 rpm。这提高了液体搅拌效率，实现了更稳定的电镀。此外还增加了防止液体飞溅的结构。
| 零件编号 | 产品名称 | 数量 |
| A-52-ST□-U | 硅片槽（亚克力双底型） | 1 |
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目前该产品是按订单生产的。请联系我们了解尺寸和规格。
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根据电镀类型和尺寸，我们可能会建议采用三面溢流类型。
