氧化锆传感器SD16/25/40NW/3/8R-2东丽TORAY

氧化锆传感器SD16/25/40NW/3/8R-2东丽TORAY

氧化锆传感器SD16/25/40NW/3/8R-2东丽TORAY

 氧化锆型EtherCAT氧气浓度计LD-600/SD传感器

低于 10 ppm

10 ppm 或更多

1000ppm（0.1%）或更多

负压/大气压

直流电源

EtherCAT

CE标志

LD-600/SD EtherCAT 通信氧气浓度计是本公司在半导体、电子行业用氧气浓度计领域多年积累的制造经验，充分利用其制造技术，专门为真空设备等开发的产品。

配备了本公司 的小型氧化锆传感器，可实现长期稳定、高精度的测量，同时还配备了氧气传感器保护机制，实现了超越传统产品的耐用性。此外，氧气传感器和转换单元设计为分离的，使其非常适合纳入需要更高速处理的设备和应用中。

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方面

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相关产品

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产品特性

- 可以进行 EtherCAT 通信

非常适合嵌入使用 EtherCAT 通信的设备和应用程序。

・可节省安装空间

氧传感器与薄型转换器分离，大大减少了安装空间的限制。

・适用于真空环境

直插式传感器不需要采样，因此即使在真空环境下也可以进行测量。

- 超快响应

单独的传感器提供最短的响应时间。

-高度耐用的传感器

传感器采用特殊涂层以确保高耐用性。

*有关SD传感器的详细特性和规格，请参阅SD传感器产品目录。

・符合标准

CE标志：EN61010-1、EN61326-1

RoHS指令：EN63000

商品名称

EtherCAT®是德国 Beckhoff Automation GmbH 授权的注册商标和 技术。

LD-600 前面板

SD传感器（4种）

产品规格

设备规格

形状分离型（转换器：固定/壁挂式，传感器：直插式） 

显示方式无显示 

测量范围0.001ppm 至 100%（10 -20至 10 -0 atm 设置可选）

以 ppm 为单位的浮点输出 

传感器连接ISO 真空法兰 NW16、25、40

或 R3/8 螺纹 

联系转换器与传感器之间的连接是通过专用线进行的，

标准长度为2m，最大长度为10m。 

参考气体气氛 

大量的转换器LD-600：约。 0.8公斤 

传感器SD16NW：大约0.2kg

SD25NW：约0.2kg

SD40NW：约0.35公斤 

外形尺寸转换器LD-600：65（宽）x 130（高）x 125（深）

（单位：mm，不包括突出部分） 

传感器SD16NW：总长100mm（检测部φ11×39、主体部φ40×51）

SD25NW：总长100mm（检测部φ11×42、主体部φ40×48）

SD40NW：总长100mm（检测部φ11×41、主体部φ40×49）

（单位：mm，不包括突起部分）

注：根据客户对各个检测部分的规格，传感器单元将是SD16NW、SD25NW或SD40NW之一。 

特征

重复性0 至 1% 范围或以上：±0.5%FS 或

以下 0 至 1% 范围以下：±1.0%FS 或±0.1ppm，取较大者

*0 至 1ppm 范围或以下不保证 

气点稳定性±1%FS以下/24小时 

预热时间6分钟或更短 

工程规格

通信输出规格通信方式：EtherCAT I/F（符合 ETG 5003.1、ETG5003.2）

配置文件：通用设备配置文件

协议：兼容 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE） 

样气条件请勿在还原性气氛中使用。另外，如果测量气体的比热较高，例如高浓度的He，则可能无法使用它。

温度：0～100℃

压力：10 -3 Pa～200 kPa（绝对压力）

湿度：低于环境温度的

露点 流量：0.5～5 L/min或0 L/min（自然扩散条件下测定） 

预热时间6分钟或更短 

电源电源：DC24V、3A

功耗：80VA（稳定时：30VA） 

安装条件安装位置：室内，非防爆区域

环境温度：转换器：0 至 40°C

　　　　　传感器单元：0 至 50°C

环境湿度：35 至 80% RH（无凝结）

安装温度：转换器：0 至 40°C

　　　　　　传感器单元：0 至 100°C

不得包含易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分 

对于上述规格以外的要求，请另行联系我们。